Kein Bedarf an High-NA EUV: Mehrfachbelichtung mit EUV ist bis 2029 TSMCs Zielvorgabe

Zum TSMC 2025 European Technology Symposium hat das Unternehmen einmal mehr betont, noch lange ohne High-NA-EUV auskommen zu können. Der Schlüssel liege in der Mehrfachbelichtung mit klassischem ?Low-NA? EUV. Mit dem Fertigungsprozess wurde so viel Erfahrung gesammelt, dass das noch mindestens vier Jahre funktionieren wird.

Quelle: Feed/Computerbase.de [ mehr ]